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台硕检测设备（苏州）有限公司
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以精密气浮主轴和高精度立柱导轨
为基准，采用计算机测量系统的转
台式圆柱度仪
产品特点
Product features
1ASO
台硕ili§测
®先进的补偿算法，对Z轴精度进行补偿
®可评定锥形柱体的轮廓度（小锥体）
© 气浮运动轴系，精度保持长久A级仪器光学尺配合精密工作台，确保机台精度在2.5+L/200nm以内
® Z轴光栅计数
©关键件采用特殊去应力合金材料及特殊的去应力处理工艺，精度保持长久
©业内领先的高精度采集控制系统，控制系统所有电路按军品标准设计、生产及验收，
能在-70°C〜+70°C的温度区间内稳定工作
©模块化设计使用户维护成本降至低
产品技术规格
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测量范围 |
大直径 |
<t)300mm |
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小内径 |
c|)3mm |
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大咼度 |
420mm （可定制） |
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主轴精度 |
径向误差 |
±(0.025+5H/10000)nm |
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轴向误差 |
±(0.025+6X/10000)nm |
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工作台 |
台面直径 |
0180mm |
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回转直径 |
0320mm |
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承载重量 |
30Kg |
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调整范围 |
调偏心±2mm ;调水平±1° |
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旋转速度 |
0-12转/分 |
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水平臂 |
水平移动距离 |
160mm |
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移动速度 |
自动0.5~6mm/s,或手动控制 |
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传感器 |
量程 |
600pm （半径差） |
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分辨率 |
0.005pm |
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测针形状 |
宝石球测头 |
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测力 |
l-12g |
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回转轴线与Z轴导轨平行度 |
2|im/300mm,母线基准 |
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立柱直线度 |
0.5nm/100mm, 0.8|im/300mm |
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数据采集 |
进口光栅7200点/周 |
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放大倍率 |
任意至大20万倍 |
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电源 |
AC 220V±10% 50Hz |
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气源压力 |
0.45〜0.80Mpa （气源质量要求：常规） |
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